Protezzjoni elettrostatika fil-produzzjoni tas-semikondutturi
Fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, il-prevenzjoni u l-kontroll tal-elettriku statiku huma meħtieġa. Jekk il-prevenzjoni u l-kontroll tal-elettriku statiku ma jitwettqux, problemi bħat-tniġġis tal-partiċelli, ħsara fis-semikondutturi minħabba ħruġ elettrostatiku u għeluq relatat tat-tagħmir. Il-programm ta 'prevenzjoni u kontroll tal-elettriku statiku fil-proċess tal-produzzjoni tas-semikondutturi jinkludi: ertjar, materjali dissipattivi statiċi u joni tan-newtralizzazzjoni tal-jonizzazzjoni tal-arja. Sabiex jissodisfaw ir-rekwiżiti miġjuba mill-iżvilupp mgħaġġel ta 'l-industrija tas-semikondutturi, materjali statiċi dissipattivi u jonizzaturi ta' l-arja wkoll qed jinbidlu kontinwament.
Il-ħtieġa ta 'kontroll statiku fil-produzzjoni tas-semikondutturi
Fil-qasam tal-produzzjoni tas-semikondutturi, huwa impossibbli li jiġu eliminati kompletament l-effetti negattivi tal-elettriku statiku. Anke bi protezzjoni statika, huwa diffiċli li jinżamm livell għoli ta 'kwalità u rendiment tal-prodott. Madankollu, jekk hemm nuqqas ta 'kontroll statiku, tniġġis tal-partiċelli, ħsara mill-iskariku elettrostatiku u ħsara fit-tagħmir, dawn il-problemi huma fil-manifattura ta' sottostrati u fotomasks tas-silikon, fil-kamra nadifa qabel is-semikonduttur, u fil-proċessi downstream inkluż l-assemblaġġ, l-ippakkjar , u ttestjar finali u tbaħħir. Jista 'jiġri fi kwalunkwe ħin, u jaffettwa serjament il-kwalità tal-prodotti semikondutturi.
Metodu ta 'kontroll statiku semikonduttur
Fl-ambjent tal-manifattura tas-semikondutturi, kemm jekk fil-kamra nadifa ta 'quddiem kif ukoll fit-test, l-assemblaġġ u l-ippakkjar ta' wara, għandu jintuża l-ert ta 'kondutturi u materjali dissipattivi statiċi. L-ert ma jħallix li l-elettriku statiku jiġi ġġenerat fuq kondutturi iżolati u materjali dissipattivi statiċi. Jekk dawn il-materjali jġorru elettriku statiku, jistgħu wkoll ineħħu l-elettriku statiku. Kull materjal konduttiv, inkluż persunal, tagħmir, uċuħ tal-fabbrika (pavimenti, ħitan, soqfa u uċuħ tax-xogħol) u prodotti, għandu jkollhom ert affidabbli. Dawn it-terminals tal-art għandhom jiġu kkontrollati regolarment. Xi kondutturi mhux ertjati huma s-sorsi ta 'skarika statika.
Materjali dissipattivi statiċi jxerrdu ħlasijiet statiċi filwaqt li jżommu l-proprjetajiet ta 'ċerti materjali iżolanti (bħal flessibilità u reżistenza kimika). Jekk ikunu ertjati b'mod affidabbli, ma jżommux ċarġ statiku. F'xi applikazzjonijiet (bħal kompjuters desktop jew sokits tat-test), dawn il-materjali jistgħu jissostitwixxu materjali kondutturi. F'dawn l-applikazzjonijiet, jistgħu jiġu f'kuntatt ma 'prodotti kkargati elettrostatikament. Ir-reżistenza għolja ta 'materjali statiċi dissipattivi (tipikament fil-medda ta' 10 ^ 4 sa 10 ^ 11 ohms) tista 'tnaqqas il-veloċità tal-proċess tal-moviment taċ-ċarġ biex tevita avvenimenti ta' ħsara ta 'rimi elettrostatiku. Materjali dissipattivi statiċi għandhom jiġu spezzjonati u ttestjati regolarment. Ħafna minn dawn il-materjali mhumiex kompatibbli ma 'kmamar nodfa, u l-karatteristiċi dissipattivi statiċi jinbidlu maż-żmien, u għalhekk għandhom jintgħażlu b'mod korrett meta jintużaw.